Trifluorure de chlore – De formule ClF3, le trifluorure de chlore est une substance interhalogène. La forme la plus courante sous laquelle ce gaz incolore, mortel, caustique et intensément réactif est vendu est sous forme de liquide jaune verdâtre pâle (pressurisé à température ambiante). En raison de son caractère corrosif, le composé est particulièrement intéressant dans les processus de nettoyage et de gravure sans plasma dans l’industrie des semi-conducteurs, dans la production de combustible de réacteur nucléaire, historiquement en tant que composant dans les carburants de fusée, et dans plusieurs autres opérations industrielles.
Jusqu’à quelques années plus tard, l’Allemagne a ignoré ce produit chimique car il était trop inflammable. Il a suscité l’intérêt en tant qu’arme potentielle. Les Allemands ont considéré l’impact qu’une douche aurait sur les soldats et l’équipement ennemis compte tenu de tout ce qu’elle fait et peut accomplir. Ils brûleraient physiquement dans un nuage d’acides fluorhydrique et chlorhydrique, s’enflammant. Ils ont choisi le nom peu attrayant « Substance N » pour cela. (Si cela ne tenait qu’à moi, j’irais avec quelque chose comme « Chemical X »).
La poursuite du développement et de la production a été transférée au complexe industriel de Falkenhagen. Ici, ils ont tenté de produire suffisamment de ce matériel pour l’armement pratique pendant de nombreuses années. Initialement, il était prévu de générer 50 tonnes de substance N chaque mois pour une utilisation dans la fonte du béton, du métal et de la chair humaine.
Le trifluorure de chlore est utilisé pour nettoyer les chambres de dépôt chimique en phase vapeur dans le secteur des semi-conducteurs. Il a l’ avantage de permettre de retirer le matériau semi – conducteur des parois de la chambre sans avoir à démonter la chambre . Contrairement à la majorité des produits chimiques de substitution utilisés dans cette fonction, il ne nécessite pas l’utilisation de plasma pour l’activation car la chaleur dans la chambre est suffisante pour provoquer sa décomposition et son interaction avec le matériau semi-conducteur.
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Quantité | 50ml |
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